横向剪切干涉仪波前测量方法

本发明提出的横向剪切干涉仪波前测量方法，旨在提供一种实时，高精确度，快速的，可用于横向剪切干涉仪对波前畸变测量的方法。本发明通过下述技术方案实现：在横向剪切干涉仪测量软件中，将通过经验设定的滤波函数设置为通过自动分析采集结果计算后获得的自适应算法模块，自适应算法模块通过干涉系统中的分束镜做小角度倾斜引入合适空间载频，经被成像系统采集后进行傅立叶分析获取频谱信息和数字加权滤波，并将电荷耦合器CCD获取的光强条纹信息进行傅立叶变化和分析，获取新的频谱信息，根据采集图样信息自动计算滤波函数的参数，进行滤波计算还原得到波前图，再将滤波获得的相位信息进行解包计算和叠加计算，获得最终的波前相位测量结果。