失效

在玻璃球罩上镀制高增透保护硬膜的方法

王平秋、祝冰、张玉东、代礼密、于清、杨柳、林莉、周九林、曾旺辉
西南技术物理研究所

摘要

本发明提出的一种在玻璃球罩内外镀制高增透保护硬膜的方法,利用本发明可以提高膜层的牢固性能力,实现中红外光学波段宽范围的硬膜镀制。本发明通过下述技术方案予以实现:以玻璃球罩为基底,采用公式:G/1.08M?3.08H?5.08?L?0.58M/A计算每层膜的光学厚度值;用光学真空镀膜机按公式列表顺序和厚度值装填膜料,将上述M、H、L颗粒状晶体膜料排布顺序依次放入电子枪蒸发源坩锅中,将与球罩基底粘接的1.08M层膜料AlO镀制在第一层,在电子枪作用下,形成蒸气分子,依次附着生长在玻璃球罩基底表面;在真空环境下,加温烘烤镀膜基底,在镀膜前和镀膜过程用离子源轰击基底到镀膜完成。本发明解决了在形状不规则球罩表面镀增透膜指标不高和膜层不牢的难题。

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