有效

一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路

龙世兵、王国明、张美芸、李阳、王明、许晓欣、刘若愚、李丛飞、刘红涛、孙鹏霄、吕杭炳、刘琦、刘明
中国科学院微电子研究所
龙世兵机构 暂无
技术领域 暂无
王国明机构 暂无
技术领域 暂无
张美芸机构 暂无
技术领域 暂无
李阳机构 暂无
技术领域 暂无
王明机构 暂无
技术领域 暂无
许晓欣机构 暂无
技术领域 暂无
刘若愚机构 暂无
技术领域 暂无
李丛飞机构 暂无
技术领域 暂无
刘红涛机构 暂无
技术领域 暂无
孙鹏霄机构 暂无
技术领域 暂无
吕杭炳机构 暂无
技术领域 暂无
刘琦机构 暂无
技术领域 暂无
刘明机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路,包括半导体参数分析仪、脉冲源、探针平台和双通道示波器,半导体参数分析仪作为控制平台,同时连接于探针台和脉冲源,并通过配置脉冲源参数控制脉冲源的波形;示波器是当脉冲源向待测RRAM器件发出脉冲时,捕获脉冲图形;示波器具有第一通道和第二通道,第一通道具有第一内阻R1,第二通道具有第二内阻R2,待测RRAM器件与示波器第二通道的第二内阻R2串联,脉冲源与待测RRAM器件连接,示波器的第一通道并联连接于待测RRAM器件与第二内阻R2的串联支路。利用本发明,解决了RRAM器件在脉冲测试过程中不能限流的问题,使RRAM器件在脉冲测试时得到稳定的脉冲测试电压,而不会因编程或擦除后影响整个电路的稳定。