有效

一种对阻变存储器阵列进行测试的系统

姚志宏、余兆安、吕杭炳、霍宗亮、谢常青、刘明
中国科学院微电子研究所
姚志宏机构 暂无
技术领域 暂无
余兆安机构 暂无
技术领域 暂无
吕杭炳机构 暂无
技术领域 暂无
霍宗亮机构 暂无
技术领域 暂无
谢常青机构 暂无
技术领域 暂无
刘明机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了一种对阻变存储器阵列进行测试的系统,包括:探针台,用于承载待测阻变存储器阵列;探针卡,用于实现硬件地址电路与待测阻变存储器阵列的良好连接;硬件地址选择电路,用于完成待测阻变存储器阵列指定端口的地址译码和选通工作;恒压源表,用于向硬件地址选择电路提供直流电压;测量源表,用于提供器件测试所需要的操作电压;控制主机,用于控制整个系统进行不同类型的测试操作,并完成测试结果数据的输出和统计分析。针对具有特殊结构阻变存储器阵列的性能无法评估的问题,本发明利用现有实验设备,不仅低成本地实现了器件性能的测试和评估,而其为后续其它阵列结构器件的测试和检测提供了一种思路和方法。