失效

一种基于静电势阱组装有序量子点阵的方法

张学骜、王飞、罗威、方靖岳、王广、陈卫、常胜利、秦石乔
中国人民解放军国防科学技术大学

摘要

本发明公开了一种基于静电势阱组装有序量子点阵的方法,该方法包括清洗基片、氨基功能化介孔二氧化硅薄膜的制备、静电势阱的形成和量子点的静电自组装等步骤。本发明采用静电势阱组装和有序介孔模板技术能精确控制量子点的尺寸、位置和排布方式,而且能够组装尺寸更小的量子点。本发明明显提高批量制备基于量子点的纳米器件工作性能的一致性。