有效

场发射阴极装置及其驱动方法

柳鹏、范守善
清华大学
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范守善机构 暂无
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摘要

一种场发射阴极装置,其包括:一绝缘基底;一阴极电极设置于所述绝缘基底的表面;一第一绝缘隔离层设置于所述阴极电极的表面或绝缘基底的表面,该第一绝缘隔离层定义一第一开口;一电子发射层设置于所述阴极电极通过第一开口暴露的表面,且与该阴极电极电连接;一第一栅极设置于所述第一绝缘隔离层表面;一第二绝缘隔离层设置于所述第一栅极表面,且所述第二绝缘隔离层定义一第二开口,以使阴极电极的至少部分表面通过该第二开口暴露;一第二栅网设置于所述第二绝缘隔离层表面,且所述第二栅网从第二绝缘隔离层的表面延伸至电子发射层上方,以将第二开口覆盖。本发明还涉及所述场发射阴极装置的驱动方法。