有效

光栅的制备方法

朱振东、李群庆、张立辉、陈墨、范守善
清华大学
朱振东机构 暂无
技术领域 暂无
李群庆机构 暂无
技术领域 暂无
张立辉机构 暂无
技术领域 暂无
陈墨机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明提供一种光栅的制备方法,包括以下步骤:提供一基底;在所述基底的表面形成一掩模层;纳米压印所述掩模层,使所述掩模层表面形成并排延伸的多个条形凸起结构;刻蚀所述掩模层,使所述凸起结构的顶端两两靠在一起而闭合;刻蚀所述基底,使所述基底的表面图案化,形成多个三维纳米结构预制体;以及去除所述掩模层,形成多个三维纳米结构。

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