热致发声装置的制备方法

本发明涉及一种热致发声装置的制备方法，包括以下步骤：提供一硅基底，所述硅基底具有一图案化的表面，所述图案化的表面具有多个间隔设置的凸部，相邻的凸部之间具有一凹部；在所述硅基底图案化的表面沉积形成一绝缘层；在所述间隔设置的凸部的绝缘层表面设置间隔形成一第一电极及第二电极；以及在绝缘层上铺设一层状碳纳米管结构，所述层状碳纳米管结构对应凹部位置悬空，该层状碳纳米管结构进一步覆盖所述第一电极及第二电极。