光刻机的激光器控制系统

本实用新型提供一种光刻机的激光器控制系统，包括：电压模式输出控制模块，与激光器相连接，以电压模式控制激光器的输出；判断模块，分别与激光器和电压模式输出控制模块相连接，判断是否应该将激光器切换至电流模式控制其输出；模式切换模块，与判断模块相连接，根据判断模块的切换命令将激光器切换至以电流模式控制其输出；电流模式输出控制模块，分别与激光器和模式切换模块相连接，以电流模式控制激光器的输出。本实用新型在不影响设备正常功能的前提下，对设备进行改造，改造成本低。改造之后延长了激光器的使用寿命，降低了消耗量，节省了生产成本。另外，激光器的输出更稳定，减少了在制品套偏和报废频率，提高了产品的良率。