有效

外延结构体及其制备方法

魏洋、范守善
清华大学
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种外延结构体的制备方法,包括以下步骤:提供一基底,所述基底具有一外延生长面;在所述基底的外延生长面上悬空设置碳纳米管层;在所述设置有碳纳米管层的外延生长面上生长外延层。本发明进一步提供一种外延结构体。