有效201110095149外延结构体及其制备方法魏洋、范守善清华大学 发明人 申请人 魏魏洋机构 暂无技术领域 暂无范范守善机构 暂无技术领域 暂无摘要一种外延结构体的制备方法,包括以下步骤:提供一基底,所述基底具有一外延生长面;在所述基底的外延生长面上悬空设置碳纳米管层;在所述设置有碳纳米管层的外延生长面上生长外延层。本发明进一步提供一种外延结构体。 权利要求 说明书 权利要求全文 暂无展开全文 引用专利 JP特开2010-232464AJP特开2010-232464AUS2010/0327228A1US2010/0327228A1CN101820036ACN101820036AUS2007/0157873A1US2007/0157873A1