有效

一种基于TiOx结构的忆阻器及其制备方法

刘明、李颖弢、龙世兵、刘琦、张森、王艳、连文泰
中国科学院微电子研究所
刘明机构 暂无
技术领域 暂无
李颖弢机构 暂无
技术领域 暂无
龙世兵机构 暂无
技术领域 暂无
刘琦机构 暂无
技术领域 暂无
张森机构 暂无
技术领域 暂无
王艳机构 暂无
技术领域 暂无
连文泰机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种基于TiO结构的忆阻器及其制备方法。所述基于TiO的忆阻器包括上电极和下电极,所述上电极和下电极之间设有TiO存储介质层。本发明解决了现有忆阻器制作成本高的问题,同时该忆阻器的制作工艺简单,与传统CMOS工艺兼容性好。