有效
一种基于TiOx结构的忆阻器及其制备方法
刘
刘明机构 暂无
李
李颖弢机构 暂无
龙
龙世兵机构 暂无
刘
刘琦机构 暂无
张
张森机构 暂无
王
王艳机构 暂无
连
连文泰机构 暂无
摘要
本发明涉及一种基于TiO结构的忆阻器及其制备方法。所述基于TiO的忆阻器包括上电极和下电极,所述上电极和下电极之间设有TiO存储介质层。本发明解决了现有忆阻器制作成本高的问题,同时该忆阻器的制作工艺简单,与传统CMOS工艺兼容性好。
本发明涉及一种基于TiO结构的忆阻器及其制备方法。所述基于TiO的忆阻器包括上电极和下电极,所述上电极和下电极之间设有TiO存储介质层。本发明解决了现有忆阻器制作成本高的问题,同时该忆阻器的制作工艺简单,与传统CMOS工艺兼容性好。