有效

外延结构体

魏洋、范守善
清华大学
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种外延结构体,该外延结构体包括:一基底,该基底具有一外延生长面;一第一外延层,其形成于所述基底的外延生长面;一第一碳纳米管层,其设置于所述外延层与基底之间;一第二外延层,其形成于所述第一外延层的远离基底一侧;以及,一第二碳纳米管层,其设置于所述第一外延层与所述第二外延层之间。