有效

具有纳米微结构基板的制备方法

魏洋、范守善
清华大学
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种具有纳米微结构基板的制备方法。该具有纳米微结构基板的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底,该基底具有一支持外延层生长的外延生长面;在所述基底的外延生长面设置一碳纳米管层;在基底的外延生长面垂直生长外延层;以及,去除所述碳纳米管层,得到至少一表面具有纳米微结构的具有纳米微结构基板。所述具有纳米微结构基板的制备方法工艺简单,成本低廉。