一种基于氮化镓材料的双异质结声电荷输运延迟线

本实用新型公开了一种基于氮化镓材料的双异质结声电荷输运延迟线，包括基片，其特征在于：所述基片上设有第一缓冲层，所述第一缓冲层上设有氮化镓半绝缘型衬底，所述氮化镓半绝缘型衬底上设有第二缓冲层，所述第二缓冲层上设有第一氮化镓铝势垒层，所述第一氮化镓铝势垒层上设有氮化镓沟道层，所述氮化镓沟道层上设有第二氮化镓铝势垒层，所述氮化镓半绝缘型衬底两端有可以构成声表面波叉指换能器的金属图案，所述第二氮化镓铝势垒层两端有电极。双异质结结构中上下两个异质结界面上的能带带阶及负极化电荷可以形成对称的量子阱结构，提高了量子限制，抑制电荷在垂直方向上的扩散运动。氮化镓具有优异的压电性能，可以扩大氮化镓ACT技术的应用范围。蓝宝石上氮化镓材料具有较大的声表面波速度，有利于高频应用。AlGaN/GaN异质结界面处的大能带带阶和强极化电荷可以产生高面密度二维电子气。