光伏多晶硅铸锭炉测温热电偶套管抽真空装置

本实用新型涉及光伏多晶硅铸锭炉测温热电偶套管抽真空装置，属于光伏多晶硅铸锭炉的抽真空自动化技术领域，该装置包括：控温测温热电偶套管、过温保护测温热电偶套管，真空泵组以通过真空管路将控温测温热电偶套管、过温保护测温热电偶套管与真空泵组连通的套管抽真空阀，控温测温热电偶手动阀和过温保护测温热电偶手动阀，还包括通过真空管路将光伏多晶硅铸锭炉腔与真空泵组连通的抽真空阀，以及连接在真空管路上的排气阀，该控温测温热电偶套管上端固定炉体顶部，下端通过保温板插入到加热器的保温罩内，该过温保护测温热电偶套管固定在炉体上并插入到炉腔内。本实用新型提高了整体设备抽真空速度，可以快速找到泄漏点，缩短铸锭周期和提高铸锭质量。