电容式单质量块全梳齿电极三轴加速度传感器及制作方法

本发明公开了一种电容式单质量块全梳齿电极三轴加速度传感器及其制作方法，该加速度传感器采用单质量块设计，x，y，z轴均使用在xy平面上的梳齿结构作为感应加速度电极。感应机构，由重度参杂单晶硅通过深反应离子蚀刻制成，其包括质量块，弹簧机构和梳齿结构。弹簧机构由U型弹簧，和梁结构，组成，共四组对称分布。两组x轴梳齿结构，沿x轴在xy平面内以质量块为中心对称分布，两组y轴梳齿结构，沿y轴在xy平面内以质量块为中心对称分布，四组z向梳齿结构，沿45°和135°线在xy平面内以质量块为中心称分布。三轴加速度测量信号输出互不干扰，实现用单一质量块和全梳齿结构电极来测量三轴加速度。

孙博华