失效
环保型SF防污染采集及检测装置
摘要
本实用新型公开了一种环保型SF防污染采集及检测装置,采样装置模块、抽真空装置模块、HF检测装置模块之间相互连接。由于本装置将三种不同功能的模块相互连接起来使之协同工作,可实现现场的洗气、快速取样、SF气体成分检测等工作,预设有真空泵接口,满足现场多次取样真空处理的要求,因而具有完备的采样功能。
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本实用新型公开了一种环保型SF防污染采集及检测装置,采样装置模块、抽真空装置模块、HF检测装置模块之间相互连接。由于本装置将三种不同功能的模块相互连接起来使之协同工作,可实现现场的洗气、快速取样、SF气体成分检测等工作,预设有真空泵接口,满足现场多次取样真空处理的要求,因而具有完备的采样功能。