失效

真空器件的封接方法

郭彩林、柳鹏、陈丕瑾、杜秉初、刘亮、范守善
清华大学
郭彩林机构 暂无
技术领域 暂无
柳鹏机构 暂无
技术领域 暂无
陈丕瑾机构 暂无
技术领域 暂无
杜秉初机构 暂无
技术领域 暂无
刘亮机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种真空器件的封接方法,其包括以下步骤:提供一预封接器件,所述预封接器件包括一壳体以及一排气孔设置于该壳体上;制备一密封件,并对该密封件进行真空熔炼处理;将所述密封件设置于预封接器件的排气孔上,并对预封接器件进行抽真空处理;通过密封件对预封接器件的排气孔进行封接,形成一封接好的真空器件。