压电振子主动阀式压电泵

本实用新型涉及一种压电振子主动阀式压电泵，属于微机电流体领域。实用新型中使用了三个压电振子，泵体上有进水口、出水口分别与泵腔连通，上压盖、泵体和下压盖固定连接，进、出口阀驱动压电振子边缘通过柔性材质的密封圈与泵体连接，阀口柔性圈固定在阀口周围，泵腔驱动压电振子边缘通过柔性材质的密封圈与泵体固定连接。其优点是改变以往传统压电泵进出口阀被动开启和关闭的方式，采用主动方式控制压电泵泵阀的开启和关闭，减少了泵阀开启和关闭的滞后性，从而改善和提高了压电泵的输出性能，同时通过调整控制信号的相位，还可实现对泵送方向的改变。