失效
电离规
肖
肖林机构 暂无
陈
陈丕瑾机构 暂无
胡
胡昭复机构 暂无
魏
魏洋机构 暂无
刘
刘亮机构 暂无
范
范守善机构 暂无
摘要
本发明涉及一种电离规,该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极,该阳极环绕于线状阴极外侧,离子收集极环绕于阳极外侧,其中,线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子,从而测量气体压强,因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点,适用于对温度或光敏感的真空系统。
本发明涉及一种电离规,该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极,该阳极环绕于线状阴极外侧,离子收集极环绕于阳极外侧,其中,线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子,从而测量气体压强,因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点,适用于对温度或光敏感的真空系统。