溅射离子泵

一种溅射离子泵，其包括：一真空容器，该真空容器壁上至少设置有一电子注入孔；两阳极电极杆设置于真空容器内，该两阳极电极杆相对于该真空容器的中心轴轴向对称；以及至少一冷阴极电子发射装置与电子注入孔对应，设置于真空容器筒壁上的电子注入孔外侧。