失效

碳纳米管阵列结构的制备装置

姜开利、刘锴、范守善
清华大学
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
刘锴机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种碳纳米管阵列结构的制备装置,其包括一反应腔,其特征在于该反应腔包括一第一气体入口,一第二气体入口,一气体出口,反应腔内设置一气体输送管及一用于承载生长碳纳米管用基底的承载元件,气体输送管一端连接第二气体入口,另一端通入该承载元件。