失效200510033857一种碳纳米管阵列的生长装置姜开利、范守善清华大学 发明人 申请人 姜姜开利机构 暂无技术领域 暂无范范守善机构 暂无技术领域 暂无摘要一种碳纳米管阵列生长装置,其包括:一反应炉,该反应炉包括两进气口和一出气口;一石英舟设置于反应炉内,其中该生长装置进一步包括一通气装置,该通气装置一端连接一进气口,另一端靠近石英舟。 权利要求 说明书 权利要求全文 暂无展开全文 引用专利 CN1165209ACN1165209A