失效

一种碳纳米管阵列的生长装置

姜开利、范守善
清华大学
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种碳纳米管阵列生长装置,其包括:一反应炉,该反应炉包括两进气口和一出气口;一石英舟设置于反应炉内,其中该生长装置进一步包括一通气装置,该通气装置一端连接一进气口,另一端靠近石英舟。