失效

一种碳纳米管阵列的生长方法

姜开利、刘锴、范守善
清华大学
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
刘锴机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种多壁碳纳米管阵列的生长方法,其包括以下步骤:提供一基底,该基底的一表面沉积有一第一催化剂层;将上述基底设置于一石英舟内;设置一第二催化剂粉末于石英舟内,该第二催化剂粉末靠近基底设置,且设置于沿气体流动方向基底位置的前方;将上述石英舟置于一反应炉内,该反应炉包括一进气口;加热使得反应炉达到一预定温度并通入碳源气以在基底表面生长得到多壁碳纳米管阵列。