失效

一种标准漏孔的制作方法

刘亮、唐洁、柳鹏、胡昭复、杜秉初、郭彩林、陈丕瑾、葛帅平、范守善
清华大学
刘亮机构 暂无
技术领域 暂无
唐洁机构 暂无
技术领域 暂无
柳鹏机构 暂无
技术领域 暂无
胡昭复机构 暂无
技术领域 暂无
杜秉初机构 暂无
技术领域 暂无
郭彩林机构 暂无
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陈丕瑾机构 暂无
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葛帅平机构 暂无
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范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种标准漏孔的制作方法。本发明所提供的标准漏孔制作方法包括以下步骤:提供一基底;在基底上形成一催化剂薄膜,其具有预定图案结构;在催化剂的位置生长出预定尺寸及数目的一维纳米结构;在基底上形成一第二膜层;去除一维纳米结构及其附近的基底材料,使在第二膜层中形成尺寸与一维纳米结构相应的通孔,从而获得一标准漏孔。本发明通过数目、形状及尺寸可控的一维纳米结构作为制造模板,漏孔的漏率可由理论计算准确求得,因此可获得漏率可控性好、可自定标的标准漏孔;从而解决了现有技术中漏孔可控性差,且必须借助其它设备对其漏率值进行标定的不足。