失效

场发射装置及其制造方法

魏洋、刘亮、范守善
清华大学
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
刘亮机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种场发射装置及其制造方法,用于解决现有技术中场发射装置的栅极截获电流较高的问题。本发明提供的场发射装置包括阴极和栅极。该阴极上设有至少一个电子发射端。该栅极与该电子发射端临近的表面上设有绝缘层。本发明还提供上述场发射装置的制造方法,包括采用蒸镀法在该栅极表面形成该绝缘层。

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