失效

一种场发射显示器的制作方法

刘亮、范守善
清华大学
刘亮机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明提供一种场发射显示器的制作方法,其包括如下步骤:(1)提供一种工作板;(2)根据预定的显示点阵在工作板上沉积栅极电极;(3)在栅极上形成一层绝缘介质膜;(4)在绝缘介质膜上沉积催化剂层;(5)根据上述预定的显示点阵在催化剂层上形成绝缘层,使该绝缘层的相应于显示点阵的位置留有一空间;(6)通过化学气相沉积法在上述绝缘层的空间内,催化剂层上生长碳纳米管阵列;(7)在碳纳米管阵列上沉积阴极电极;(8)封装阴极电极并去除工作板;(9)用湿法刻蚀工艺去除绝缘层;(10)与带有阳极电极的荧光屏封装。