一种碳纳米管阵列结构及其制备方法

本发明公开了一种碳纳米管阵列结构，其包括一基底、形成于基底上的催化剂层、及在催化剂层上长出的碳纳米管阵列，其特征在于该催化剂层包括多个不同尺寸大小的纳米级催化剂颗粒，且该催化剂颗粒的尺寸大小沿一特定方向递减，该碳纳米管阵列向催化剂颗粒的尺寸递减的方向弯曲。本发明同时还揭露了一种制备上述碳纳米管阵列结构的方法。其步骤包括：(1)在基底的上表面上形成催化剂层，该催化剂层的厚度沿一特定方向递增；(2)在保护气氛下退火，使催化剂层收缩成为纳米级催化剂颗粒；(3)通入碳源气，利用热化学气相沉积在上述催化剂颗粒上生长碳纳米管。