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SiC单晶衬底离子束超精密抛光机理与方法研究
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技术领域：
榜单金额：
18万元 万
合作方式：
发布日期：
2025-09-18
截止日期：
-
需求发布单位：
中核同创（上海）科技发展有限公司
关键词：
碳化硅加工
高端器件制造
离子束抛光
物理仿真模型
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电子顺磁
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