在半导体制造行业中,天车系统(AMHS)作为自动化物料搬运系统,扮演着至关重要的角色,它负责在晶圆厂内高效地运输晶圆盒,确保生产流程的顺畅进行。然而,随着生产规模的扩大和自动化需求的提升,原有天车系统的配置已逐渐显现出局限性。具体而言,原有系统仅配置了8个stocker,所有晶圆盒的取放均需通过这8个stocker的搬运口进行人工操作,这不仅限制了产能的提升,还难以满足日益增长的自动化生产需求。鉴于整体升级天车系统面临高昂的成本和厂房结构尺寸的限制,寻求一种通过技术改造对天车系统进行扩展升级的方案显得尤为迫切。此技术需求的提出,旨在通过增加中转站点和高架升降搬运系统,实现物流效率的大幅提升,从而解决产能瓶颈和自动化水平不足的问题。
针对上述需求背景,本技术需求需解决以下关键技术问题:
本技术需求的实施将带来以下显著效果:
原有天车系统(AMHS)配置8个stocker,所有晶圆盒只能从8个stocker的搬运口处人工取放,已不能满足当下的产能和自动化需求。整体升级天车系统又因为高成本和厂房的结构尺寸问题无法实现,所以通过技术开发改造对天车系统进行扩展升级是更加可行的方式。 具体指标要求:新增中转站点和高架升降搬运系统的信号等与原系统程序实现兼容。 实现增加至少6个轨道中转站点和高架升降搬运系统来提高物流效率。
