原晶圆厂天车系统(AMHS)系统扩展程序的开发

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技术领域:智能装备
榜单金额:面议
合作方式:联合开发
发布日期:20241021
截止日期:-
需求发布单位: 北方科创(天津)科技企业孵化器有限公司
关键词: 晶圆厂  天车系统  AMHS扩展  信号兼容  中转站点  高架升降 

需求的背景和应用场景

在半导体制造行业中,天车系统(AMHS)作为自动化物料搬运系统,扮演着至关重要的角色,它负责在晶圆厂内高效地运输晶圆盒,确保生产流程的顺畅进行。然而,随着生产规模的扩大和自动化需求的提升,原有天车系统的配置已逐渐显现出局限性。具体而言,原有系统仅配置了8个stocker,所有晶圆盒的取放均需通过这8个stocker的搬运口进行人工操作,这不仅限制了产能的提升,还难以满足日益增长的自动化生产需求。鉴于整体升级天车系统面临高昂的成本和厂房结构尺寸的限制,寻求一种通过技术改造对天车系统进行扩展升级的方案显得尤为迫切。此技术需求的提出,旨在通过增加中转站点和高架升降搬运系统,实现物流效率的大幅提升,从而解决产能瓶颈和自动化水平不足的问题。

要解决的关键技术问题

针对上述需求背景,本技术需求需解决以下关键技术问题:

  1. 系统兼容性:新增的中转站点和高架升降搬运系统必须与原有天车系统的程序实现完全兼容,确保整个系统的稳定运行和高效协同。这要求开发团队深入了解原有系统的程序架构和接口规范,确保新增部分与原有部分的无缝对接。
  2. 扩展性设计:在满足当前需求的同时,考虑未来可能的扩展需求,设计灵活可扩展的系统架构。具体来说,需要实现至少6个轨道中转站点和高架升降搬运系统的增加,以提高物流效率。这要求开发团队在系统设计时充分考虑模块化、可扩展性的原则,确保系统能够轻松应对未来的升级和扩展。
  3. 高效物流策略:在增加中转站点和高架升降搬运系统的基础上,优化物流路径和调度策略,实现晶圆盒的高效、准确搬运。这需要对物流流程进行深入分析,结合先进的算法和模型,设计出最优的物流方案。

效果要求

本技术需求的实施将带来以下显著效果:

  1. 提升产能:通过增加中转站点和高架升降搬运系统,有效缓解原有系统的产能瓶颈,大幅提升晶圆厂的产能和生产效率。
  2. 增强自动化水平:减少人工干预,提高生产流程的自动化水平,降低人力成本,同时提升生产质量和稳定性。
  3. 创新优势:通过引进再创新的方式,结合原有系统特点和新技术需求,开发出具有自主知识产权的天车系统扩展程序,为企业带来技术上的领先地位和竞争优势。
  4. 灵活可扩展:系统设计考虑未来扩展需求,确保在未来产能进一步提升或生产流程发生变化时,能够轻松进行系统的升级和扩展,降低长期投资成本。

原有天车系统(AMHS)配置8个stocker,所有晶圆盒只能从8个stocker的搬运口处人工取放,已不能满足当下的产能和自动化需求。整体升级天车系统又因为高成本和厂房的结构尺寸问题无法实现,所以通过技术开发改造对天车系统进行扩展升级是更加可行的方式。 具体指标要求:新增中转站点和高架升降搬运系统的信号等与原系统程序实现兼容。 实现增加至少6个轨道中转站点和高架升降搬运系统来提高物流效率。

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