在原有晶圆厂天车系统的轨道任意位置处增加中转站点研发

需求的背景和应用场景

在半导体制造行业中，晶圆厂的天车系统（AMHS，Automated Material Handling System）扮演着至关重要的角色，负责在生产线内高效、准确地搬运晶圆盒。然而，随着生产规模的扩大和自动化需求的提升，原有天车系统的配置已逐渐显现出局限性。具体而言，当前系统仅配置了8个stocker，作为晶圆盒的存取点，所有晶圆盒的取放操作均需在这8个固定搬运口处进行，这不仅限制了产能的提升，还增加了人工操作的负担，降低了整体生产线的自动化水平。 鉴于整体升级天车系统面临高昂的成本以及厂房结构尺寸的限制，寻求一种既经济又实用的技术改造方案显得尤为迫切。因此，提出在原有晶圆厂天车系统的轨道任意位置处增加中转站点的研发需求，旨在通过技术创新，实现对天车系统的扩展升级，以满足日益增长的产能和自动化需求。

要解决的关键技术问题

本技术需求的核心在于研发一种能够在原有天车系统轨道任意位置处增设中转站点的方法。具体需解决的关键技术问题包括：

1. 轨道适配技术：研究如何使新增的中转站点能够无缝接入原有天车系统的轨道网络，确保天车能够在不同轨道之间平稳切换，同时不影响原有系统的正常运行。
2. 精准定位与对接技术：开发高精度定位技术，确保天车能够准确识别并对接到新增的中转站点，实现晶圆盒的快速、准确存取。
3. 智能化调度算法：优化天车系统的调度算法，以适应新增中转站点后的复杂物流场景，提高整体搬运效率，减少等待时间和搬运成本。
4. 系统集成与兼容性测试：确保新增中转站点与原有天车系统在硬件、软件层面的完全集成，并通过严格的兼容性测试，验证系统的稳定性和可靠性。

效果要求

本技术需求的实施将带来以下显著效果：

• 提升产能与自动化水平：通过增设中转站点，有效扩大晶圆盒的存取范围，减少人工干预，显著提升生产线的产能和自动化水平。
• 降低成本：相较于整体升级天车系统，本技术方案具有更低的成本投入，同时避免了因厂房结构限制而带来的额外支出。
• 增强系统灵活性：新增的中转站点可灵活部署于轨道的任意位置，为未来生产线的扩展和调整提供了更大的灵活性。
• 技术创新与竞争优势：本技术需求的成功实施将推动半导体制造行业在自动化物流领域的技术创新，为晶圆厂带来显著的竞争优势，提升其在市场中的地位。 综上所述，本技术需求旨在通过技术创新，解决原有天车系统存在的局限性，提升半导体制造行业的生产效率和自动化水平，具有重要的行业意义和应用价值。