项目团队共35人，本项目各，其中博士4人，具有高级及以上职称10人。项目牵头人和技术骨干来自于各联合体成员单位中青年骨干技术人员，技术专业结构合理，业务水平高，是国内顶尖的研究团队。项目核心人员包括： （1）张永明，正高级工程师。从事扫描电镜等电子光学类仪器设备研制、产业化工作30余年，参与我国第一台数字化扫描电镜研制，荣获“BCEIA金奖”； 研制成功KYKY-2800和3000型扫描电镜，两项产品均荣获“BCEIA金奖”。承担国家重点科技项目（攻关）计划“九五”专题、“十二五”国家重大科学仪器设备开发专项，研发的KYKY-EM8000F热场发射扫描电镜荣获2015年“BCEIA金奖”，KYKY-EM8100F热场发射扫描电镜荣获“2017年度科学仪器行业优秀新产品”奖，项目关键性指标达到国外发达国家先进水平。 （2）孟祥良，正高级工程师，北京中科科仪光电科技有限公司总经理，长期从事扫描电子显微镜等仪器设备研制及工程化、产业化工作。作为核心骨干参与了国家重大科学仪器设备开发专项，开发出国内首台场发射枪扫描电子显微镜并实现工程化产业化；作为骨干人员，参与国家科技部仪器重大专项、广东省重点领域研发计划重大科技专项、国家重点研发计划“纳米前沿”专项等国家及地方重大专项研制工作3项。作为子任务负责人完成了“场发射电子枪扫描电子显微镜开发和应用 ”国家重大科学仪器设备开发专项，协助开发国内首台场发射电子枪 SEM 并实现工程化产业化。 （3）尹贻恒，博士，总体设计工程师，以第一作者发表SCI论文9篇，申请国家发明专利2项，参与广东省科学技术厅重大专项，首创了电磁复合偏转器，实现了由原理到样机的落地，为电子束曝光机项目指标的实现提供了有力保障；主持中科科仪项目“超高分辨扫描电镜开发”，负责电子束发射、聚焦及偏转系统的电子光学设计及优化工作，在高分辨扫描电子显微镜的理论设计、实验验证等方面积累了丰富的经验。