MEMS电容式差压传感器及高端工业变送器芯片国产化

核心问题

国际流行的MEMS电容式压差传感芯片在工业计量和控制领域（如流量、压力、液位、密度的计量和控制）具有稳定、可靠、范围宽、可应用于微小压差并实现精准测量的优势，但目前该技术仍处于被封锁状态，国内无法自主生产，限制了相关工业自动化仪表的国产化进程。

解决方案

本项目基于核心技术，实现了对MEMS电容式压差传感芯片的批量化国产替代制造，并进一步开展传感芯片的封装以及在实际应用场景中的性能测试。

竞争优势

本项目成果可打破国际技术封锁，实现MEMS电容式压差传感芯片的国产化，满足国内工业自动化仪表领域对高精度、高可靠性传感芯片的需求，降低对进口产品的依赖，提升国内工业计量和控制的自主可控能力，具有显著的经济效益和社会效益。同时，该成果在技术上具有创新性，能够实现批量化生产，具备与国际同类产品竞争的实力。