527nm大能量纳秒激光器

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成果单位：北京云汉星驰激光技术有限公司

合作方式：面议

所处阶段：其他

关键词：芯片半导体激光退火装备527nm激光器180W功率250ns脉宽120MHz频率绿光纳秒

成果评价

总得分（满分100）

资本强度（满分0）

该成果得分：0

团队介绍

负责人介绍，李凯，公司法人，高级工程师，获得省部级一等奖和三等奖各一次，光学领域从业21年，参与国家重大仪器专项6次，授权发明专利6项，软著4项，开发过太赫兹时域光谱仪系列和超快激光器系列产品。

小果解读

核心问题

在芯片半导体生产流程中，激光退火装备对于提高芯片性能至关重要。然而，传统激光器在功率、稳定性及使用寿命上难以满足高效批量生产的严苛要求，特别是针对特定波长（如527nm）的高能量纳秒激光需求，市场上存在明显空白，制约了芯片制造效率与质量的进一步提升。

解决方案

本项目成功研发出527nm大能量纳秒激光器，专为芯片半导体领域的激光退火装备设计。该激光器具备180W的高功率输出，脉冲宽度达250ns，重复频率高达120MHz，确保了高效、精确的退火处理。通过优化的激光腔设计与先进的散热技术，保证了激光器使用寿命超过10000小时，满足工业生产的长时间稳定运行需求。此外，项目团队在怀柔完成了从研发到测试、生产及销售的全程，确保了产品性能的一致性与可靠性。

竞争优势

该527nm大能量纳秒激光器填补了国内在该技术领域的空白，成为上海微电子装备（集团）股份有限公司的首家国内供应商，展现了显著的技术领先性。其高功率、长寿命及稳定性能，大幅提升了芯片半导体生产的效率与良品率，降低了生产成本。此外，本土化研发与生产模式确保了快速响应市场变化与定制化需求的能力，为客户提供更具竞争力的解决方案。

成果描述

成果公开日期

20250327

所属产业领域

高端装备与制造-激光器制造

产品设计方案

该项目的技术先进性体现在多个方面：首先，527nm绿光激光器的研发成功填补了国内在该领域的空白，打破了国外技术垄断；其次，180W的高功率输出和250ns的短脉宽组合，为芯片半导体激光退火工艺提供了前所未有的加工效率和精度；再者，120MHz的高重复频率使得激光器在连续作业中表现出色，大大提高了生产效率；最后，长寿命设计确保了激光器在使用寿命上达到或超过行业标准的10000小时，降低了用户的维护成本和使用风险。

当前进展

主要功能：主要功能为提供高性能的527nm绿光纳秒激光输出，具体参数包括180W的高功率、250ns的短脉宽以及120MHz的高重复频率，特别适用于芯片半导体制造中的激光退火工艺，能够满足该领域对激光器使用寿命超过10000小时的高要求。-核心技术：核心技术涵盖527nm绿光激光器的设计与制造、高功率激光的稳定输出技术、短脉宽与高频率下的激光控制技术，以及确保激光器长期稳定运行的长寿命设计技术。这些技术共同保证了激光器在高性能要求下的稳定性和可靠性。